クラス100のクリーンルーム内で加熱処理を行うとき、清潔さを維持するのは非常に重要です。もしわずかなほこりがあっただけでも、そのロット全体が無駄になってしまいます。
本当の問題は、加熱が必要になったときに起こります。一般的なヒーターは、このような環境では使えません。なぜなら、それらはガスや微小な破片を放出してしまうからです。これは大変な災害につながります。だからこそ、私たちは高純度の石英を使った赤外線ランプを使用しているのです。
なぜ石英か？ 私たちが使用しているのは融結ケイ酸ガラスです。これは性能が優れているからです。ほとんどのガラスは高温になると分解したり、揮発性有機化合物を放出したりしますが、石英はそうではありません。
また、構造物に含まれるすべての多孔質素材も排除しました。安価な接着剤や、加熱によって剥がれ落ちる可能性のある低品質なセラミックも使いません。そうすれば、サブストレートに悪影響を与えない、クリーンで安定した熱源が得られます。
光子の利点 赤外線加熱の最大の利点は、非接触であることです。センサーに触れることなく、光子を当てるだけです。摩擦や摩耗がなく、粒子も発生しません。さらに、使用する材料に最適な波長に調整することも可能です。
一つのアドバイス：温度上昇の速度に注意してください。これらのランプは非常に速く温度が上がりますが、急激に温度を上げると、石英と金属の接合部に負担がかかります。私は常に段階的に温度を上げることを推奨します。少し時間はかかりますが、熱衝撃を防ぐことができます。
全体の構成 これらのランプは、真空状態やフィルター処理された空気中でも簡単に使用できます。無菌状態を維持するために、金メッキされた接続部や高品質のステンレス鋼を使用しています。錆は汚染物質ですから、不活性な金属を使用して、クリーンな状態を保ちます。
もし全力で運転する場合は、HVACシステムにも注意してください。これらの赤外線ランプは大量のエネルギーを空気中に放出します。冷却システムが適切でなければ、層流状態が乱れ、再び汚染の心配が出てきます。