赤外線硬化技術を使って、ファブを本当に「スマート」にする方法
もし、現代的なファブの設計を考えているのであれば、従来の対流式加熱ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。対流式加熱は効率が悪く、エネルギーの無駄遣いにもなります。
そのため、私たちは精密な赤外線システムを利用します。これは、部屋全体を温めてコーヒーを温めるのと、電子レンジを使うのとの違いに似ています。赤外線を使えば、直接基板を加熱できます。チャンバー内の空気を温めるためのエネルギーを無駄にしないので、処理時間が短縮され、エネルギーコストも大幅に削減されます。
熱をデータに変換する
実際、機械の内部で何が起こっているかが分からなければ、ファブは「スマート」とは言えません。
私たちは、認定済みの赤外線ランプをPLCシステムに接続し、モジュレーション制御器を使って動作を管理します。つまり、各処理サイクルごとの消費電力や温度のデータがリアルタイムで得られるのです。
これにより、ラインの最終段階で品質不良が発見されるのを防げます。ランプの状態が悪化する前に警告が出るので、推測に頼ることなく、確実に対処できます。
物理的な条件を正しく把握する
私たちは、一律の方法にこだわりません。使用する材料がどの程度光を吸収するかを考慮します。
基板の奥深くまで加熱が必要な場合は、短波長の赤外線を使用します。表面だけを硬化させる場合は、中波長の赤外線が適しています。重要なのは、ランプの出力をラインの速度に合わせることです。
高い出力密度のランプを使えば、床面積を節約できますが、冷却ファンが性能を発揮できるかどうかが重要です。そうでなければ、ハウジングが過度に熱くなってしまいます。
詳細：設置とメンテナンス
誰も、奇妙な接続方法のせいでラインが半日も停止することを望みません。そのため、私たちは標準化されたコネクタを使用します。そうすれば、ランプを交換してすぐに作業を再開できます。
ただし、注意点があります。強力な赤外線は厳しい環境下でしか機能しませんが、石英は繊細です。
たとえ認定済みのランプであっても、指紋には耐えられません。皮膚から出る少量の油でも、熱源となってランプを損傷させます。ですから、ランプを清潔に保ち、センサーを正しく調整しておけば、どのウェーハやパネルでも安定した性能が得られます。