炭素繊維製のIRランプを使えば、「オーブン効果」を防げる
ほとんどの赤外線ヒーターは、熱をあちこちに放散してしまいます。半導体製造工場で作業している場合、装置の壁面が危険なほど熱くなってしまい、大変な問題となります。
私たちは、炭素繊維製のIRランプを使用することでこの問題を解決しています。部屋全体を温めるのではなく、必要な場所、つまりウェハや基板の上にだけ熱を集中させるのです。
実際の動作原理
炭素繊維フィラメントは、従来のタングステンやハロゲン線とは異なり、中長波の放射を行います。適切な反射器を使えば、熱を目的の場所に向けて送り込むことができます。これにより、装置が巨大なオーブンのようになるのを防ぎます。部品の表面温度を適切に保つことができ、装置の筐体も過度に熱くなることはありません。これはずっと効率的な方法です。
ハードウェアの詳細
私たちは、製造現場の厳しい環境に耐えられるようにこれらの装置を設計しています。最良な点は、温度上昇が非常に速いことです。数秒で目標温度に到達できます。
ただし、電圧の調整には注意が必要です。過剰な電圧をフィラメントにかけると、それが壊れてしまいます。安定した状態を保ち、不要な温度上昇を避けるために、PIDコントローラを使用することをお勧めします。これにより、すべてがバランス良く保たれます。
利点とデメリット
熱が特定の方向に集中するため、装置の外部は冷たく保たれます。そのため、作業員が手を伸ばしても火傷する心配はありません。また、施設のエアコンも過度に稼働する必要がありません。
ただし、注意点もあります。熱が集中するため、精度が非常に重要です。もし部品が少しでもずれていたり、反射器が歪んでいると、基板に熱の偏りが生じてしまいます。
必ず、固定用のブラケットをしっかりと固定してください。ランプが真ん中に位置していないと、装置全体が壊れてしまいます。