ファブでの熱風からIRへの切り替え：実際に知っておくべきこと もし、強制対流式の加熱方法から赤外線加熱方式に切り替えるのであれば、基本的には熱を扱う考え方を変える必要があります。 熱風の仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がウェーハに熱を伝えるのを待ちます。しかし、これは非常に遅い...

赤外線硬化技術を使って、ファブを本当に「スマート」にする方法 もし、現代的なファブの設計を考えているのであれば、従来の対流式加熱ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。対流式加熱は効率が悪く、エネルギーの無駄遣いにもなります。 そのため、私たちは精密な赤外線システムを利用します。これは、...

不安定な環境下でのIRランプの安全な扱いについて 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その厳しさがわかるでしょう。化学的な洗浄工程では、可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が溢れています。まさに危険な環境です。 こうした場所で通常の赤外線ランプを使うのは、問題を引き起こす行為に他なりません。クォーツ...

なぜIR硬化がグリーンファブにとって最適なのか 半導体製造工場のエネルギー消費を調査すると、いつも同じ問題点が浮かび上がります。それは対流式のオーブンです。これらはエネルギーの無駄遣いの元凶です。考えてみてください。ウェハ上の微細な薄膜を乾燥させるためだけに、巨大な金属製のチャンバー全体を加熱して...

炭素繊維製のIRランプを使えば、「オーブン効果」を防げる ほとんどの赤外線ヒーターは、熱をあちこちに放散してしまいます。半導体製造工場で作業している場合、装置の壁面が危険なほど熱くなってしまい、大変な問題となります。 私たちは、炭素繊維製のIRランプを使用することでこの問題を解決しています。部屋全...

はじめに 半導体工場を想像してみてください。すべてがスムーズに動作しなければ、工場全体の生産が止まってしまいます。 ヒーターというのは、単なる電球のようなものではありません。それは、全体の工程を支える重要な要素なのです。 ここで役立つのが、この種の大型赤外線ランプです。これらは、ウェーハや工場全体...

ファブ内では、ソフトベイク時に温度が0.2℃程度変動すると、その影響を感じることができます。そうなると、フォトレジストの厚みが不安定になり、ラインの焦点も合わなくなります。ランプは熱処理プロセスの核心的な要素です。ランプの動作が不安定になると、デバイスの性能よりもばらつきが問題となります。 技術的...