クリーンルーム内でのIRランプの安全な使用方法（そして、実験室の無菌状態の維持） クリーンルームで作業を行う際には、「ほぼ」というレベルでは不十分です。わずかな電気的なトラブルや汚染だけでも、すべてを台無しにしてしまう可能性があります。当社のベンチ用IRランプは、高い温度に耐えられるように設計され...

なぜウェーハ処理に金コーティングが使われるのか クリーンルーム内でのオーブンを作る際、真の課題は単に高温を発生させることだけではありません。重要なのは、その熱が本来いるべき場所にちゃんと届くようにすることです。 もしシリコンウェーハを加熱しているのに、エネルギーがオーブンの内壁に当たらずに散乱して...

不安定な環境下でのIRランプの安全な扱いについて 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その厳しさがわかるでしょう。化学的な洗浄工程では、可燃性の溶剤や腐食性のある蒸気が溢れています。まさに危険な環境です。 こうした場所で通常の赤外線ランプを使うのは、問題を引き起こす行為に他なりません。クォーツ...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、熱は厄介な問題です。単に一定の温度に保つだけでは不十分です。重要なのは、目に見えない微粒子のことです。 ほとんどの標準的な加熱要素は、加熱や冷却時に微小な破片を放出してしまうという欠点があります。これは、空間...

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの安全性の現実 大量生産を行う半導体工場では、わずかなミスが全てを台無しにしてしまう可能性があります。例えば、トロリーの上で赤外線ランプが破損してしまったらどうでしょう？瞬時にガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。そうなれば、そのロット全体が廃...