クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業する際、熱は厄介な問題です。単に一定の温度に保つだけでは不十分です。重要なのは、目に見えない微粒子のことです。
ほとんどの標準的な加熱要素は、加熱や冷却時に微小な破片を放出してしまうという欠点があります。これは、空間を無菌状態に保とうとする上で大きな障害となります。私たちは、高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用してこの問題に対処しています。
なぜ石英なのか？
石英は、この仕事に最適な材料です。非常に純度の高い融成シリカを使用しているため、金属イオンや有機蒸気が空気中に漏れ出ることはありません。他の加熱器では、時間が経つとコーティングが剥がれ落ちてしまいますが、私たちの透明な石英管は多孔質ではありません。何も剥がれ落ちず、何も混入しないのです。
また、熱の伝達方法も重要です。私たちは短波放射を利用しています。部屋全体を加熱するのではなく、エネルギーが直接目的の場所に届きます。これにより、面倒な対流が生じるのを防げます。急激な暖かい空気の流れが床のほこりを舞い上げたり、層流を乱したりするのは避けたいですよね。
電力について
使用する空間の大きさに応じて、高出力のランプを選ぶことも可能です。そうすれば、迅速に作業を完了できます。しかし、高出力は電気系統に大きな負担をかけます。フル出力で運転する場合は、冷却システムが周囲の熱に対応できるか確認してください。そうでないと、クリーンルームの警報が頻繁に鳴り続けることになります。
設置について
コネクタを標準化しておくことで、しっかりと密着し、安全に接続されます。なぜそれが重要かというと、接続が緩むと問題が発生するからです。それによりアークや酸化が起こり、それらが私たちが避けたい微粒子を生成してしまいます。しっかりとした接続を維持することで、無菌状態を保つことができます。
もし古くて性能が低下した加熱装置がある場合でも、これらのランプは簡単に交換できます。ウェーハや光学部品が汚染される心配もありません。選んだ出力に見合った電流を扱えるか確認すれば、問題なく使用できます。