なぜ、バイオセンサーのために誘電体試験を重視するのか？ バイオセンサーを製造する際、硬化や乾燥の段階が最も難しい部分です。適切な温度が必要であり、そのために特殊な赤外線ランプを使用しています。 しかし問題は、高精度な環境下では、わずかな電気漏れでも大きな問題となります。数秒で大量のセンサーが破壊さ...

クラス100のクリーンルーム内で加熱処理を行うとき、清潔さを維持するのは非常に重要です。もしわずかなほこりがあっただけでも、そのロット全体が無駄になってしまいます。 本当の問題は、加熱が必要になったときに起こります。一般的なヒーターは、このような環境では使えません。なぜなら、それらはガスや微小な破...

クラス100のクリーンルームで作業を行う際には、わずかなミスも許されません。ごく小さなほこりの粒子や化学物質の蒸気だけで、大量のバイオセンサーが一瞬でダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。 そのため、私たちは使用する材料には細心の注意を払います。赤外線ランプには高純度の合成石英を使...

水素センサーのための適切な熱処理のしかた シリコンウェーハ上で水素センサーを作る際には、微妙なバランスが求められます。化学反応を促進するためには大量の熱エネルギーが必要ですが、過度に熱を与えすぎると、ウェーハが破損してしまいます。 重要なのは、熱が機械の筐体を温めるだけでなく、ウェーハ自体にまでし...

ファブでの熱風からIRへの切り替え：実際に知っておくべきこと もし、強制対流式の加熱方法から赤外線加熱方式に切り替えるのであれば、基本的には熱を扱う考え方を変える必要があります。 熱風の仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がウェーハに熱を伝えるのを待ちます。しかし、これは非常に遅い...

バイオセンサーの製造において、熱の管理は非常に重要です。基板を硬化させ、化学的な層を活性化させるためには十分なエネルギーが必要ですが、過度に熱を加えると有機化合物が破壊されてしまいます。つまり、微妙なバランスが求められるのです。 そのため、私たちは昔ながらの対流式オーブンを使うのをやめました。それ...

CNT製造において、熱エネルギーを最大限に活用する方法 カーボンナノチューブを成長させる際、温度は非常に重要です。しかし問題点があります。ウェーハを加熱するだけで、そのエネルギーがチャンバーの壁に逃げてしまうと、結局お金を無駄にしてしまうことになります。 だからこそ、私たちは金でコーティングされた...