クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

なぜウェーハ処理に金コーティングが使われるのか クリーンルーム内でのオーブンを作る際、真の課題は単に高温を発生させることだけではありません。重要なのは、その熱が本来いるべき場所にちゃんと届くようにすることです。 もしシリコンウェーハを加熱しているのに、エネルギーがオーブンの内壁に当たらずに散乱して...