MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、水分は大敵です。しかし、単に高温で加熱するだけでは不十分です。過度な熱ストレスやわずかな汚染があれば、高価なウェーハが台無しになってしまいます。 そのため、私たちは高出力の赤外線ヒーターを使用します。これにより、迅速に乾燥させ...

なぜIR硬化がグリーンファブにとって最適なのか 半導体製造工場のエネルギー消費を調査すると、いつも同じ問題点が浮かび上がります。それは対流式のオーブンです。これらはエネルギーの無駄遣いの元凶です。考えてみてください。ウェハ上の微細な薄膜を乾燥させるためだけに、巨大な金属製のチャンバー全体を加熱して...

燃料電池の触媒層は、薄くて導電性があり、かつ熱に敏感です。どこか一点で過度な加熱が起きたり、加熱のスピードが遅くなったりすると、触媒の形状が変化してしまいます。その結果、接触抵抗が上昇し、燃料電池の性能が低下します。したがって、リソグラフィー処理のように、再現性があり、均一で、クリーンな乾燥処理が...

MEMSウェーハが最終リンスから出てくる様子を観察してください。乾燥ヒーターが十分に機能しなければ、ウォーターマークが発生し、その結果、フォトレジストの付着不良が起こり、計測段階に至る前にロット全体が不良品になります。当社はその変動要因を排除するためにMEMSウェーハ乾燥ヒーターを開発しました。...

冬がオフィスに訪れると、いつもの光景が繰り返される。セーターを重ね着し、隙間風が入り込み、絶えず鼻をすする音が背景に流れる。寒いと人はそわそわし、集中力が低下し、一日が長く感じられる。 赤外線衣類乾燥ヒーターはこれを変える――静かに、即座に、そして空気を乾燥させることなく。 技術的な構造 この装置...

ライン上ではドリフトは許されない。ウェーハ全体でわずかに数十分の1℃でもずれたソフトベークは、フォトレジストのプロファイルに現れる―エッジビードの不均一、膜厚勾配、規格外へ逸脱するライン幅制御などだ。洗浄直後の乾燥工程は、残留水分や微小液滴痕が収率低下の原因となる段階であり、高価なマスクや露光工程...