なぜウェーハ処理に金コーティングが使われるのか クリーンルーム内でのオーブンを作る際、真の課題は単に高温を発生させることだけではありません。重要なのは、その熱が本来いるべき場所にちゃんと届くようにすることです。 もしシリコンウェーハを加熱しているのに、エネルギーがオーブンの内壁に当たらずに散乱して...

リソグラフィ工程のフロアでは、ソフトベイクに対して妥協は許されない。設定温度からわずか0.5°Cずれるだけで、フォトレジストの膜厚が仕様を外れ、気づけばエッチングウィンドウが狭まってしまう。オーブンのランプは単なる熱源ではなく、再現性のある熱処理プロセスである。 このランプは短波赤外線用に設計され...