ファブランプ用交換フィラメント

ファブ内では、ソフトベイク時に温度が0.2℃程度変動すると、その影響を感じることができます。そうなると、フォトレジストの厚みが不安定になり、ラインの焦点も合わなくなります。ランプは熱処理プロセスの核心的な要素です。ランプの動作が不安定になると、デバイスの性能よりもばらつきが問題となります。 技術的...