工業用ウェーハヒーター製造工場

製造現場においては、0.5℃程度の温度変動だけで、ウェハの寸法が変わってしまい、多くのウェハが廃棄処分されてしまいます。もしウェハヒーターが24時間365日の稼働でもフォトレジストの加熱プロファイルを維持できない場合、生産性と稼働時間の間で苦しい選択を迫られます。私たちは、ラインが絶対に停止しては...