MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、水分は大敵です。しかし、単に高温で加熱するだけでは不十分です。過度な熱ストレスやわずかな汚染があれば、高価なウェーハが台無しになってしまいます。 そのため、私たちは高出力の赤外線ヒーターを使用します。これにより、迅速に乾燥させ...