持続可能なファブ製造ソリューション

ファブでの熱風からIRへの切り替え：実際に知っておくべきこと もし、強制対流式の加熱方法から赤外線加熱方式に切り替えるのであれば、基本的には熱を扱う考え方を変える必要があります。 熱風の仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がウェーハに熱を伝えるのを待ちます。しかし、これは非常に遅い...