半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの安全性の現実 大量生産を行う半導体工場では、わずかなミスが全てを台無しにしてしまう可能性があります。例えば、トロリーの上で赤外線ランプが破損してしまったらどうでしょう？瞬時にガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。そうなれば、そのロット全体が廃...