半導体ラボ用オーブンランプ

リソグラフィ工程のフロアでは、ソフトベイクに対して妥協は許されない。設定温度からわずか0.5°Cずれるだけで、フォトレジストの膜厚が仕様を外れ、気づけばエッチングウィンドウが狭まってしまう。オーブンのランプは単なる熱源ではなく、再現性のある熱処理プロセスである。 このランプは短波赤外線用に設計され...