MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター
MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法
MEMSセンサーを製造する際、水分は大敵です。しかし、単に高温で加熱するだけでは不十分です。過度な熱ストレスやわずかな汚染があれば、高価なウェーハが台無しになってしまいます。
そのため、私たちは高出力の赤外線ヒーターを使用します。これにより、迅速に乾燥させ...
スマートセンサーパッケージング 赤外線
なぜセンサーの包装において、オーブンの代わりに赤外線加熱を採用するのか
最近、半導体の包装をカーボンニュートラルにするための取り組みが活発化しています。長年にわたり、私たちは大型の対流式オーブンを利用してきました。しかし正直なところ、これらはエネルギーの消費が激しいのです。小さな部分だけを加熱する...
水素センサー製造用ヒーター
水素センサーのための適切な熱処理のしかた
シリコンウェーハ上で水素センサーを作る際には、微妙なバランスが求められます。化学反応を促進するためには大量の熱エネルギーが必要ですが、過度に熱を与えすぎると、ウェーハが破損してしまいます。
重要なのは、熱が機械の筐体を温めるだけでなく、ウェーハ自体にまでし...
ウェーハ用高精度IRセンサー
製造ラインでカーボン排出を削減しつつ、生産性を損なわない方法
正直に言って、半導体製造工場でカーボンニュートラルの目標を達成するのは大変です。エネルギーの無駄遣いが多く発生するのは、ウェハの加熱や硬化の段階です。これは明らかに非効率的です。そのため、私たちは精密なIR加熱技術を活用しています。より...
ウェーハ処理装置用温度センサー
なぜ、無鉛半導体の製造に赤外線硬化法を採用したのか
正直言って、昔ながらの対流式オーブンは使いづらいものです。業界がウェハー製造において無鉛基準を採用するようになり、私たちはすべてを見直さざるを得ませんでした。部屋全体を温める代わりに、赤外線硬化法を利用するようになったのです。
なぜでしょうか?そ...