クラス100の清潔な環境で作業を行う際、わずかなほこりの粒子でも大変な問題になります。医療用インプラントであれシリコンウェーハであれ、何かが剥がれ落ちると、そのロット全体が無駄になってしまいます。 こうした環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。加熱要素からガスが放出されたり、剥がれ落...

工具内での熱の漏れを防ぐ方法 ほとんどの赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまうのです。半導体部品のサイズが小さい場合、これは大きな問題となります。その結果、内部の壁面が非常に高温になってしまいます。これは、機械を操作する人にとって...

なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがファブに不可欠なのか 半導体ファブでは、温度がわずかにでも異なるだけで、歩留まりが低下してしまいます。それほどまでに精密な制御が求められます。特にウェーハの加工やフォトレジストの乾燥処理においては、金メッキ処理を施した赤外線ランプが不可欠です。 以下が、その重...