グローブボックス用赤外線ヒーター素子

シャードの発生を防ぐ：IRランプの故障からウェーハを守る グローブボックス内で大量生産を行っている場合、ミスの余地は一切ありません。 IRチューブが壊れると、単なる停止にとどまらず、大惨事になります。石英の破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。歩留まりを気にする人にとっては、これは本当に悪夢...