頭を悩ませることなく赤外線ヒーターの部品を交換する方法 5年間ずっと使用していた赤外線ヒーターが壊れてしまった場合、問題になるのは部品の代金ではありません。問題は、稼働停止による生産の中断や、それに伴うストレスです。 だからこそ、私たちはIP65等級の加熱装置をモジュール式に設計しました。ケースを...

化学洗浄ラインを加熱しつつ、爆発を防ぐ方法 半導体の洗浄作業を行う際には、不安定な溶剤や可燃性の蒸気と共に作業を行うことになります。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。一つの火花や過熱した表面があれば、大きな問題が発生します。 だからこそ、私たち...

300mmウェハーの場合、フォトレジストを加熱する際に半度だけずれてしまっても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐためにこれらの半導体用赤外線ヒーターを開発しました。それは単なる宣伝ではなく、実際の製造現場で信頼性の高い熱特性を持つからです。 重要なのは内部...

リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命...

Role ファブフロアでは、ベーク温度の0.5℃のずれがフォトレジストプロファイルにどれほど影響を与えるかをよく理解している。粒子の急増一つで大量のスクラップが発生する。そこで、熱挙動を予測可能に保つためにゾーン制御型赤外線加熱モジュールを開発した。重要な箇所、すなわち熱依存工程全体にわたって安定...