リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命型の赤外線ヒーターチューブが開発されました。
技術的に重要な点 このチューブは、石英製のケースの中に短波長の赤外線放射体を内蔵しているため、数秒以内に迅速かつ直接的に加熱が行われます。ベイクエリア全体での温度の均一性は±0.1℃以内に保たれており、これによりすべてのウェーハが同じ熱処理を受けることになります。出力も5,000時間以上にわたって安定しており、強度の低下は5％未満です。クリーンルーム環境にも適応しており、Class 1～100の環境でも問題なく使用できます。また、運転中に粒子が発生することもありません。
なぜ生産現場で役立つのか このチューブは、単なる温度制御だけでなく、プロセス全体を考慮して設計されています。フォトレジストのベイク工程において、設定値を再現性良く実現し、異なるシフトやロット間でも一貫した結果が得られます。その結果、微細なノードでの歩留まりが向上し、温度変動による不良ウェーハが減少します。また、メンテナンスも事前に計画でき、緊急対応が不要になります。さらに、システムは必要に応じてのみ加熱され、過剰な加熱が起こらないため、エネルギー消費も削減されます。
実用上の注意点 取り付けや位置合わせには高い精度が求められます。チューブは、装置の規定された隙間内に正確に設置しなければならず、そうでないと局部過熱や温度の不均一が生じます。ランプが点灯した後は、完全に安定するまでしばらくの暖機時間が必要です。ランプの交換は、定期的な予防保守と合わせて行うことで、稼働時間を確保できます。導入する前には、電圧やコネクタの仕様が装置の要求に合致しているかを必ず確認してください。