工具内での熱の漏れを防ぐ方法 ほとんどの赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまうのです。半導体部品のサイズが小さい場合、これは大きな問題となります。その結果、内部の壁面が非常に高温になってしまいます。これは、機械を操作する人にとって...

リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命...