水素センサー製造用ヒーター

水素センサーのための適切な熱処理のしかた シリコンウェーハ上で水素センサーを作る際には、微妙なバランスが求められます。化学反応を促進するためには大量の熱エネルギーが必要ですが、過度に熱を与えすぎると、ウェーハが破損してしまいます。 重要なのは、熱が機械の筐体を温めるだけでなく、ウェーハ自体にまでし...