ウェーハ加熱時の安全距離

無駄なエネルギーの消費をやめましょう シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットでも無駄にしてはいけません。 問題は、一般的な石英ランプはエネルギーをあらゆる方向に放出してしまう点です。360度全方位に放射されるため、実際に加熱されるべきウェーハではなく、機械自体が加熱されてしまいます。これは明らか...