化学洗浄ラインを加熱しつつ、爆発を防ぐ方法 半導体の洗浄作業を行う際には、不安定な溶剤や可燃性の蒸気と共に作業を行うことになります。そのような環境では、一般的な赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。一つの火花や過熱した表面があれば、大きな問題が発生します。 だからこそ、私たち...

なぜIR硬化がグリーンファブにとって最適なのか 半導体製造工場のエネルギー消費を調査すると、いつも同じ問題点が浮かび上がります。それは対流式のオーブンです。これらはエネルギーの無駄遣いの元凶です。考えてみてください。ウェハ上の微細な薄膜を乾燥させるためだけに、巨大な金属製のチャンバー全体を加熱して...