長寿命の赤外線ヒーターチューブ

リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命...