クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が発生するという問題がどれほど厄介かをご存知でしょう。安価なヒーターコイルや低品質なランプから出る微小な破片だけで、ウェーハや高精度な光学部品が損傷してしまいます。本当に面倒です...

ファブ内では、よく知られている通り、ウェーハが洗浄工程を経て出てきたときには、まだ微少量の水分が残っています。その水分を取り除くには、ホットプレートを使って数分間かかります。1分1分が工程時間を長引かせてしまいます。さらに悪いことに、均一でない加熱によって熱応力が生じ、それがパターンのずれとして現...

ウェハ製造工程において、湿ったカセットは単なるボトルネックというだけでなく、汚染の原因にもなります。残っている水分が表面の欠陥を引き起こし、たった一つの水滴でも生産効率を台無しにする可能性があります。従来の乾燥方法では、熱の偏りが生じ、水が端や角部分に残ってしまいます。そのため、中心部だけでなく、...

300mmラインでの作業 濡れベンチからキャリアが出てくると、マイクロリットルのDI水が閉じ込められた状態で残っています。この湿気を再現可能な乾燥状態に引き下げないと、ソフトベーク中にフォトレジストに移動してしまいます。CD公差がずれ、スキャナーに欠陥が現れ始めます。ウェーハキャリアのクリーニング...

この靴乾燥機用ヒーターについて話しましょう。私たちは非常に具体的な問題を解決するためにこれを作りました。それは、必要な場所に素早く強烈な熱を届けること、しかも場所をあまり取らずにということです。 そこでコンパクトで高強度のハロゲン管を選びました。これを操作の中核と考えてください。通常は長さ...