クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が発生するという問題がどれほど厄介かをご存知でしょう。安価なヒーターコイルや低品質なランプから出る微小な破片だけで、ウェーハや高精度な光学部品が損傷してしまいます。本当に面倒ですね。
そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。このランプは、汚れを発生させないのです。
なぜ石英が重要なのか
私たちが使用しているのは、不純物がほぼ含まれていない融解シリカです。安価な石英は時間が経つにつれて曇ってしまいますが、この素材は常に透明な状態を保ちます。また、このランプは短波長の光源として機能するため、激しい温度変化にも耐えられます。
最良な点は、清潔で安定した熱が得られることです。床から浮き上がったほこりが作業場に飛んでくるといった問題もありません。
「不要なもの」を排除する
無菌状態を維持するために、有機系の結合剤や接着剤はすべて取り除きました。電極は直接石英製のケースに埋め込まれています。
通常のランプを使ったことがある人なら、最初の50時間ほどで発生する臭いや粒子の問題をご存知でしょう。しかし、私たちはそれらをすべて解消しました。
デジタル式の赤外線乾燥機に接続する際には、PIDの調整をしっかり行ってください。石英は丈夫ですが、急激な温度変化には弱いです。電力の変動をなくしておけば大丈夫です。
設置時のヒント
これらのランプは、スペースをあまり取らず、すぐに加熱されるため非常に便利です。古い抵抗ヒーターと交換するのも簡単です。
ただし、高純度の石英は、慣れ親しんでいるドープガラスよりももろいです。
**どうしても手で触れないでください。**皮脂が原因で熱点が生じ、それがランプを壊す原因になります。必ず清潔な手袋とイソプロピルアルコールを使って清掃してください。また、電源の安定性も確認してください。電圧が不安定だと、フィラメントが早く壊れてしまいます。