ゾーン赤外線加熱モジュール

Role ファブフロアでは、ベーク温度の0.5℃のずれがフォトレジストプロファイルにどれほど影響を与えるかをよく理解している。粒子の急増一つで大量のスクラップが発生する。そこで、熱挙動を予測可能に保つためにゾーン制御型赤外線加熱モジュールを開発した。重要な箇所、すなわち熱依存工程全体にわたって安定...