ファブ内では、よく知られている通り、ウェーハが洗浄工程を経て出てきたときには、まだ微少量の水分が残っています。その水分を取り除くには、ホットプレートを使って数分間かかります。1分1分が工程時間を長引かせてしまいます。さらに悪いことに、均一でない加熱によって熱応力が生じ、それがパターンのずれとして現れます。NIRウェーハドライヤーは、この問題を解決するために作られました。
技術的に重要な点 近赤外線エネルギーは水やフォトレジストに直接当たるため、伝導による待ち時間なしに数秒で所定の温度に到達します。ウェーハ全体の温度のばらつきは±0.1℃以内であり、ロット間の再現性も±0.2℃以内です。ヒーターアレイは、NIR帯域に調整された石英ハロゲン発光体を使用しており、ウェーハ表面での正確な温度制御が可能です。 また、粒子の発生も少ないです。チャンバーはクラス1～100に適合しており、層流状態の空気流とHEPAフィルター付きの排気システムを備えています。ゼロコンタクト式のクランプ方式により、ウェーハの表面が汚れることがなく、機械的な傷もつきません。
なぜこの装置が適しているのか スピントラックとリソグラフィーセルの間に設置できるドライヤーが必要です。この装置は占有面積が小さく、標準的なSECS/GEM規格に対応しており、24時間365日稼働しても停止することはありません。ソフトベイクとハードベイクのプロファイルも事前に設定されているため、製品が変更されても、オペレーターは再調整を行う必要はありません。 NIR光源はウェーハ全体ではなく、対象部分のみを加熱するため、エネルギー消費量が減少します。フォトレジストの加熱も規定値内に保たれるため、CDやオーバーレイの誤差も減少し、再作業も不要になります。
準備が必要なこと NIRドライヤーには、安定した温度維持のために独立した電源供給装置と清潔な冷却システムが必要です。ほとんどの300mmタイプの装置と連動しますが、設置時には機械的な接続部分や排気ダクトを確認する必要があります。 試験運転やレシピの設定には約2週間かかります。一度調整が完了すれば、工程の管理は容易になります。