製造現場においては、0.5℃程度の温度変動だけで、ウェハの寸法が変わってしまい、多くのウェハが廃棄処分されてしまいます。もしウェハヒーターが24時間365日の稼働でもフォトレジストの加熱プロファイルを維持できない場合、生産性と稼働時間の間で苦しい選択を迫られます。私たちは、ラインが絶対に停止してはならない状況下でも安定した温度制御ができるという厳しい要件に基づいて、工業用ウェハヒーターを開発しました。
技術的に重要な点 私たちは、ウェハ全体の表面において±0.1℃以内の均一性を実現しています。これにより、ソフトバックアップやハードバックアップの際にも、フォトレジストの耐熱性の範囲内で処理が行われます。NIR要素を使用することで、迅速かつ再現性の高い加熱が可能です。また、このシステムはクリーンルームのクラス1～100に適応しており、各加熱エリアでは微粒子の発生が一切ありません。つまり、計画外の停止は一切なく、24時間365日の稼働が可能です。また、標準的なMTBF目標を上回る寿命も確保されています。
なぜ効果的なのか リソグラフィー装置では、熱はトラックサイクルに追従しなければならず、サイクルを待たせてはいけません。私たちのヒーターは、設定温度に迅速に到達し、その状態を維持し続けます。これにより、廃棄物や再加工の削減が可能です。その結果、CDの安定した制御、加熱による欠陥の減少、そして計画的なメンテナンスが可能になります。また、温度の安定性を損なうことなくエネルギー効率も最適化されているため、低温での稼働が可能です。
高精度な温度制御システムを利用するには、厳格な統合が必要です。ヒーターは、電源供給装置やコネクタの種類、安全装置など、装置の仕様に合わせて選ばれる必要があります。また、試運転時にはそれらの機能が正しく動作しているかを確認する必要があります。一度適切に調整されれば、再現性とクリーンルーム適合性により、大量生産において信頼性の高いシステムとなります。