リソグラフィーの工程においては、300mmウェーハをそのまま放置してヒーターが安定するのを待つわけにはいきません。ソフトベイクとハードベイクによって温度制御が行われますが、もし温度が不安定だったり均一でなかったりすると、線幅の制御が困難になります。そこで、このような不確実性を排除するために、長寿命...

屋外で暖かく過ごすためのポイントはこうです——ほとんどのパティオヒーターは単に空気を温めるだけです。そして、その結果は誰もが知っている通り。熱は上昇して、人に届く前に消えてしまいます。 そこで私たちは、長距離ヒーターを別の方法で作りました。高出力のハロゲン素子を使って、大きな屋外エリアに赤外線熱を...