以下に、次の分類用語を使用するページがあります “MEMS (メムス)” MEMSウェーハ乾燥ヒーター MEMSウェーハが最終リンスから出てくる様子を観察してください。乾燥ヒーターが十分に機能しなければ、ウォーターマークが発生し、その結果、フォトレジストの付着不良が起こり、計測段階に至る前にロット全体が不良品になります。当社はその変動要因を排除するためにMEMSウェーハ乾燥ヒーターを開発しました。... Read more...
MEMSウェーハ乾燥ヒーター MEMSウェーハが最終リンスから出てくる様子を観察してください。乾燥ヒーターが十分に機能しなければ、ウォーターマークが発生し、その結果、フォトレジストの付着不良が起こり、計測段階に至る前にロット全体が不良品になります。当社はその変動要因を排除するためにMEMSウェーハ乾燥ヒーターを開発しました。... Read more...
