自動ウェハ乾燥ヒーター

ライン上ではドリフトは許されない。ウェーハ全体でわずかに数十分の1℃でもずれたソフトベークは、フォトレジストのプロファイルに現れる―エッジビードの不均一、膜厚勾配、規格外へ逸脱するライン幅制御などだ。洗浄直後の乾燥工程は、残留水分や微小液滴痕が収率低下の原因となる段階であり、高価なマスクや露光工程...