なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがファブに不可欠なのか
半導体ファブでは、温度がわずかにでも異なるだけで、歩留まりが低下してしまいます。それほどまでに精密な制御が求められます。特にウェーハの加工やフォトレジストの乾燥処理においては、金メッキ処理を施した赤外線ランプが不可欠です。
以下が、その重要性の理由です。
金メッキ処理の利点
通常のクォーツランプは、熱をあちこちに放出します。これは無駄なことです。
管の背面に薄い金の層を追加することで、いわば「熱反射鏡」ができます。そうすると、熱が背面から漏れ出る代わりに、直接基板上に当たります。必要な場所により多くの熱が届き、かつ、外部からの電力消費も減ります。さらに、装置の筐体がオーブンのようになることもありません。
「スマート」に利用する
現代の工場では、データが必要です。単純に設定して放置するだけでは不十分です。
これらのランプは、PLCで制御されるSCRパワーコントローラーと連携して動作します。つまり、センサーからの情報に基づいて、リアルタイムで出力を調整できるのです。「ライトアウト型」の工場を目指すなら、これは不可欠です。加熱要素はシステムと通信し、各種の温度データを自動的に記録できる必要があります。
注意すべき点
完璧なものはありません。金メッキ処理を施したランプは強力ですが、やや気まぐれな性質があります。
汚染に弱いのです。金の層に指紋や化学物質の汚れが付くと、ホットスポットが発生し、ランプやウェーハが損傷する可能性があります。チームがこれらのランプを扱う際には、厳格な管理が必要です。決して手を抜いてはいけません。
また、このランプは非常に強力な熱を発生させるため、冷却システムもしっかりしていなければなりません。ファンやヒートシンクが十分でないと、反射された熱で取り付けブラケットが変形してしまうことがあります。
高密度に配置する前に、必ず空気の流れを確認してください。そうすれば、後で大変なトラブルを避けることができます。