近红外波段晶圆干燥机

在晶圆加工车间里，流程其实很简单：晶圆从清洗工序出来后，表面仍会残留微量水分。使用加热板去除这些水分需要数分钟时间，而每多花一分钟，整个工艺流程的时间就会增加。更糟糕的是，不均匀的加热会导致热应力，进而使晶圆上的图案出现错位现象。NIR晶圆干燥机就是为了解决这些问题而设计的。 从技术层面来看，它具...