长效红外加热管

在光刻工艺中，300毫米的晶圆不能一直等待加热器达到适宜的温度。软烘烤和硬烘烤工序决定了所需的温度控制精度；如果温度出现波动或不够均匀，那么晶圆的线条宽度就无法得到准确控制。我们设计了寿命较长的红外加热管，以此来消除这种不确定性。 从技术层面来看，关键点在于： 该加热管内部装有短波红外发射器，这些...