晶圆载体清洗干燥机

在300mm生产线上的实际操作 你知道流程：载体从湿法台上取下，仍然携带着微升的被困去离子水。如果不将这些湿气拉回可重复的干燥状态，它会在软烘烤过程中迁移到光刻胶中。CD公差漂移，缺陷开始在扫描仪上显现。晶圆载体清洗干燥机的设计旨在在门口阻止这一连锁反应。 实际重要的方面 我们围绕一个高纯度热系统...