自动晶圆干燥加热器

在线生产中，偏差是不能容忍的。即使晶圆上软烘烤温度偏差仅为零点几度，也会在光刻胶剖面中表现出来——边缘珠、厚度梯度以及线宽控制都会偏离规格。清洗后，干燥步骤是残留水分和微小液滴痕迹转变为产量杀手的关键阶段，而这些缺陷往往要到昂贵的掩膜和曝光步骤完成后才显现。晶圆下方的加热器不能只是温暖，它必须精确...