为何在晶圆处理中使用黄金镀层 在建造洁净室烤箱时，真正的挑战并非仅仅提升温度，而是确保热量能够准确传递到需要加热的位置。如果对硅晶圆进行加热时，能量却散布在烤箱的各个部位，而非直接作用于晶圆上，那无疑是在浪费能源。更糟糕的是，这还会让烤箱的墙壁变成巨大的散热体。这时候，黄金镀层的反射器就派上用场了...

在光刻车间，软烘烤过程不允许有丝毫偏差。温度偏离目标仅0.5°C，光刻胶厚度便会偏离规格，蚀刻窗口随之缩小。烘箱灯不仅仅是热源——它是一个可重复的热处理工艺，别无二致。 我们采用短波红外与石英卤素发射器设计了这款灯。这样可以实现快速、直接的能量传递以及灵敏的热响应。夹具范围内，晶圆级均匀性保持在...