标签为“手套箱”的页面如下 手套箱红外加热元件 防止石英碎片飞溅:保护晶圆免受红外灯故障的威胁 如果在手套箱中进行高负荷生产,那么你就深知其中的风险有多大。这里容不得任何差错。 一旦红外灯发生故障,那可不仅仅是设备停机的问题,而是一场灾难。石英碎片和卤素气体会飞溅到晶圆上,这对那些关心产品良率的人来说无疑是个噩梦。 正因如此,我们才会以特殊方式... Read more...
手套箱红外加热元件 防止石英碎片飞溅:保护晶圆免受红外灯故障的威胁 如果在手套箱中进行高负荷生产,那么你就深知其中的风险有多大。这里容不得任何差错。 一旦红外灯发生故障,那可不仅仅是设备停机的问题,而是一场灾难。石英碎片和卤素气体会飞溅到晶圆上,这对那些关心产品良率的人来说无疑是个噩梦。 正因如此,我们才会以特殊方式... Read more...