如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？ 在制造MEMS传感器时，水分无疑是个大敌。不过，我们不能简单地用高温来处理它——因为过大的热应力或轻微的污染都可能让昂贵的晶圆变成无用的废品。 因此，我们使用高强度红外加热器。这种加热器能够快速完成干燥过程，无需等待传统对流烤箱处理完毕。这样一来，不...

观察MEMS晶圆从最后冲洗中取出。如果干燥加热器不能发挥作用，就会出现水印，从而导致光刻胶附着不良，批次在计量之前就失败了。我们设计的MEMS晶圆干燥加热器旨在消除这种变数。 生产线上的关键因素 基材表面的温度均匀性是控制良率的关键。我们的加热器在晶圆级别保持±0.1°C的均匀性，因此您的软烘焙和...