工业晶圆加热器工厂

在芯片制造过程中，0.5℃的温度波动就足以导致关键尺寸出现偏差，从而使大量产品变成废品。如果晶圆加热器无法在24/7全天候运行状态下保持稳定的温度控制，那么就不得不在产量与设备可用性之间做艰难的选择。我们设计的工业级晶圆加热器，核心要求就是能够在设备必须持续运行的情况下，依然实现精确的温度控制。...