半导体洁净室推车式加热器

保持晶圆清洁：传送带式加热器的安全性考量 在大型半导体制造厂中，哪怕是一个小小的错误都可能带来灾难性后果。想象一下，如果有一盏红外线灯突然爆裂，那么玻璃碎片和化学残留物就会掉落到晶圆上。这样一来，整批晶圆都会被毁掉。这简直就是一场噩梦。 因此，我们特意设计出专门的洁净室用传送带式加热器，以避免这类...