数字式红外线干燥机控制器
如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你正在使用100级洁净室,那你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕是来自廉价加热元件或低质量灯管的微小碎片,都可能毁掉你的芯片或高精度光学元件。这真是令人沮丧。
因此,我们选择使用纯度极高的合成石英红外灯。因为这种灯不会产生任何杂屑。
为何石英如此重要?
我们使用的...
近红外波段晶圆干燥机
在晶圆加工车间里,流程其实很简单:晶圆从清洗工序出来后,表面仍会残留微量水分。使用加热板去除这些水分需要数分钟时间,而每多花一分钟,整个工艺流程的时间就会增加。更糟糕的是,不均匀的加热会导致热应力,进而使晶圆上的图案出现错位现象。NIR晶圆干燥机就是为了解决这些问题而设计的。
从技术层面来看,它具...
磁带清洗红外烘干机
在芯片制造过程中,潮湿的载盘不仅会成为生产瓶颈,还容易引发污染问题。残留的水分会导致表面缺陷,而哪怕是一点点的湿气都可能影响产品的合格率。传统的干燥方式会产生温度梯度,使得水分滞留在载盘的边缘和角落。因此,需要一种能够彻底烘干整个载盘的干燥设备,而不仅仅是其中心部分。
红外加热:亚毫米级均匀性,可...
晶圆载体清洗干燥机
在300mm生产线上的实际操作 你知道流程:载体从湿法台上取下,仍然携带着微升的被困去离子水。如果不将这些湿气拉回可重复的干燥状态,它会在软烘烤过程中迁移到光刻胶中。CD公差漂移,缺陷开始在扫描仪上显现。晶圆载体清洗干燥机的设计旨在在门口阻止这一连锁反应。
实际重要的方面 我们围绕一个高纯度热系统...
鞋子烘干机加热器
关于这款鞋子烘干加热器——我们设计它是为了解决一个非常具体的问题:如何快速将强烈的热量准确地传递到你需要的地方,同时又不占用大量空间。 所以我们选择了紧凑型、高强度的卤素灯管。把它看作是整个装置的动力核心。它通常长300毫米,可以设置为400V,功率高达2500瓦。 先来说说功率。 采用400V输...