더 이상 추측하지 마세요: 공장 내에서 실제 온도 데이터를 얻는 방법 만약 공장을 “스마트”한 환경으로 전환하고자 한다면, “충분히 근사한 값”으로는 부족하다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 추정된 온도값에 의존하는 것은 위험한 일입니다. 우리는 추측 대신 고효율의...

왜 금 도금된 적외선 램프가 반도체 공장에 반드시 필요한지 반도체 공장에서는 온도가 조금이라도 틀어지면 생산 효율이 크게 떨어집니다. 그렇게 간단한 원리입니다. 웨이퍼 가공이나 포토레지스트 건조와 같은 과정에서 정밀한 온도 제어가 필요하기 때문에, 우리는 금 도금된...

화학적 세척 공정에서 열을 공급할 때, 폭발을 방지하는 것이 매우 중요합니다. 반도체 세척 작업을 할 때는 휘발성 용매와 인화성 증기들과 함께 작업하게 되는데, 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나...

와퍼를 깨끗하게 유지하기: 트롤리 히터의 안전성에 대한 현실 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는, 아주 작은 실수라도 모든 것을 망칠 수 있습니다. 예를 들어, 트롤리 위에서 적외선 램프가 파손된다고 가정해 보세요. 그러면 유리 조각과 화학 물질들이 와퍼 위로...

300mm 웨이퍼를 가공할 때, 포토레지스트를 건조하는 과정에서 반도 정도의 온도 변동만 있어도 전체 생산물이 폐기될 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 이러한 반도체용 적외선 가열램프를 개발했습니다. 단순한 홍보용이 아니라, 실제 제조 환경에서도 안정...

팹 내에서는, 사진현상제의 가열 과정에서 단 몇 도라도 온도가 변동하면 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 반복적인 작업에서도 신뢰할 수 있는 열 관리가 필요합니다. 기술적으로 중요한 점 저희는 ‘중요한 부분, 즉 웨이퍼 위에서만 열을 제어한다’는 원칙에 따...

리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다. 우리는 이 램프를 석...