반도체 실험실 오븐 램프

리소그래피 층에서 소프트 베이크에 여유를 주어서는 안 됩니다. 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 포토레지스트 두께가 사양에서 벗어나고, 그 사이에 에칭 윈도우가 줄어들게 됩니다. 오븐 램프는 단순한 열원이 아니라 반복 가능한 열 프로세스입니다. 우리는 이 램프를 석...