카세트 청소용 적외선 건조기
제조 공장에서는 습한 카세트가 단순히 생산 속도를 늦추는 요인에 그치지 않습니다. 오히려 오염이 발생할 수 있는 위험한 요소가 됩니다. 남아 있는 수분은 표면 결함을 유발하며, 단 한 방울의 물만으로도 생산 효율이 크게 저하될 수 있습니다. 일반적인 건조 방식은 열차...
웨이퍼 캐리어 세척 건조기
300mm 라인에서의 작업 습식 벤치에서 캐리어가 나오면 미세한 양의 DI 물이 감 trapped 되어 있는 상태를 아실 것입니다. 이 습기를 반복적으로 건조한 상태로 낮추지 않으면, 부드러운 베이킹 과정에서 포토레지스트로 이동합니다. CD 허용 오차가 변동하고 결함...