도구의 열 방출을 막는 방법 대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 360도로 에너지가 퍼져나가죠. 반도체 칩이 작은 경우에는 이는 큰 문제가 됩니다. 그 결과, 내부 벽면이 극도로 뜨거워집니다. 이는 기계를 조작하는 사람에게 있어 안전 위험일 뿐만...

리소그래피 공정에서는 300mm 웨이퍼가 단순히 히터가 작동할 때까지 그대로 있을 수 없습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크라는 방법을 통해 온도를 제어하는데, 만약 온도에 변동이 생기거나 균일하지 않다면 선폭 제어가 제대로 이루어지지 않습니다. 우리는 이러한 변동성...