카본 파이버 IR 램프로 “오븐 효과”를 막는 방법 대부분의 적외선 히터는 열을 사방으로 방출하기 때문에 다소 번거롭습니다. 반도체 제조 공장에서 이런 히터를 사용한다면, 장비의 벽면들이 위험할 정도로 뜨거워질 수 있습니다. 우리는 카본 파이버 IR 램프를 사용하여...

CNT 제조 시 열을 최대한 활용하는 방법 탄소나노튜브를 성장시킬 때는 온도가 매우 중요합니다. 하지만 문제는, 웨이퍼만 가열시키고 그 에너지가 챔버 벽으로 빠져나간다면 결국 돈만 낭비하는 셈입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 그렇게 하면 적외...